产品介绍
应特格6英寸晶圆盒晶圆运输盒( entegris PFA carrier)
6英寸PFA cassette 高帮进口PFA材质6英寸清洗花篮为最大晶圆片提供支撑和;ぷ饔,A194-60MB 晶圆运输盒对晶圆加工中的常用化学品都是耐受的。包括酸(盐酸,硫酸,氢氟酸和硝酸),碱(氢氧化钠,氢氧化钾,氢氧化铵,过氧化氢),醇,酮,氯化溶剂和氟利昂。
温度限制:高温晶圆高温硅片输入极限温度为290℃。连续使用极限温度120℃。
晶圆容量:25片
型号:A194-60MB
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